Наноиндустрия #2/2023
Б.Г.Турухано, Н.Турухано, Ю.М.Лавров, О.Г.Ермоленко, С.Н.Ханов
АТТЕСТАЦИЯ НАНОЛИНЕЙНОГО ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО ДАТЧИКА НИ ЛДГ (РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ) И ДАТЧИКА AT715 (ЯПОНИЯ)
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.2.152.158 Наноизмерительный линейный датчик голографический (НИ ЛДГ) и AT715 представляют собой высокоточные измерительные устройства перемещений и длин. Измерительным элементом НИ ЛДГ является линейная голографическая дифракционная решетка. Линейная шкала AT715 работает по принципу электромагнитной индукции. Датчики НИ ЛДГ и AT715 имеют рабочий диапазон более 1000 мм.