Наноиндустрия #6/2012
А.Иванов Б.Смирнов
Электронно-лучевое напыление: технология и оборудование
Электронно-лучевые пучки широко используются для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, исследований, в том числе в нанотехнологиях. Сущность электронно-лучевого воздействия состоит в том, что кинетическая энергия пучка превращается в зоне обработки в тепловую. Так как диапазоны мощности и концентрации энергии в луче велики, возможно получение всех видов термического воздействия на материал с высокими скоростями. Благодаря концентрации тепловой энергии в диапазоне термического воздействия, необходимого для распыления практически любого материала и ведения процесса в вакууме, обеспечиваются его чистота и полная автоматизация оборудования.