Наноиндустрия #6/2012
В.Матвеев
Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии
В статье приведена информация о прошедшей в Черноголовке 5-й школе по метрологии и стандартизации в наноиндустрии. В докладах показано состояние и развитие нанотехнологий в науке и технике, основным критерием которых стало повышение точности измерений на наноуровне. Приводятся сведения о современных приборах для измерительного контроля при проведении нанотехнологических операций.