Наноиндустрия #2/2024
А.И.Ахметова, Т.О.Советников, Б.А.Логинов, Д.И.Яминский, И.В.Яминский
КВАРЦЕВАЯ ЭТАЛОННАЯ МЕРА ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ
Повышение точности и достоверности измерений в наномасштабе становится все более актуальной задачей для различных приложений, особенно в таких областях, как полупроводниковая электроника, оптические метаматериалы, сенсоры и биологические измерения. С появлением методов визуализации высокого разрешения закономерно возникла и потребность в метрологической поверке этих приборов. Появилась задача измерить наноразмерную морфологию в конкретном местоположении, что требует точности позиционирования как в вертикальном, так и в латеральном направлении. Стабильность и надежность измерений требуют регулярно отлаживать микроскоп с помощью калибровочных средств. Одним из таких эталонов могут быть кварцевые калибровочные меры.
Наноиндустрия #6/2012
Г.Мешков, О.Синицына, Д.Яминский, И.Яминский
Динамическая измерительная мера "Нанометр"
Представлено решение динамической измерительной меры нанометра в виде пьезокерамической пластины. Измерительная мера может применяться для калибровки сканирующих зондовых микроскопов, что особенно важно при измерении и анализе данных биомедицинских измерений – изображений белков, комплексов ДНК с белками, вирусных частиц, фрагментов клеток, биомаркеров.