Наноиндустрия #5/2023
Б.Г.Турухано, Н.Турухано, С.Н.Ханов, В.В.Добырн, Ю.М.Лавров, О.Г.Ермоленко
НАНОГОЛОГРАФИЧЕСКИЕ ДЛИНОМЕРЫ И ЛИНЕЙНЫЕ ДАТЧИКИ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.5.310.318 В этой статье авторы освещают современное состояние измерительной техники, при измерении линейных размеров объектов наногоризонтальными голографическими датчиками (ЛДГ) и нановертикальными длиномерами голографическими (НДГ) на базе линейных голографических дифракционных решеток (ЛГДР).