Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "инжекционные лазеры"

Наноиндустрия #5/2023
А.В.Фомин, Е.М.Филоненко, Е.А.Анашкин
ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ИОННО-ЛУЧЕВОГО НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ДЛЯ РЕЗОНАТОРОВ ИНЖЕКЦИОННЫХ ЛАЗЕРОВ

https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.5.272.280 Работа посвящена созданию технологии получения оптических покрытий для резонаторов инжекционных лазеров на установке ионно-лучевого нанесения. Для требуемых коэффициентов отражения на торцах резонаторов спроектированы оптические покрытия, и отработаны режимы нанесения составляющих их диэлектрических слоев. Отработка режимов нанесения заключалась в определении оптимальных параметров ионного луча, соотношений расходов газа-источника ионов и газа-реагента и температуры подложки. Расчет спектральных характеристик высокоотражающих и просветляющих покрытий, полученных на основании предложенных конструкций и экспериментальных значений коэффициентов преломления диэлектрических слоев, свидетельствует о достижении необходимых коэффициентов отражения на торцах резонаторов инжекционных лазеров.