Наноиндустрия #8/2012
С.Голубев, В.Захарьин, Г.Мешков, Ю.Токунов, Д.Яминский, И.Яминский
Калибровка зондовых микроскопов. Динамическая мера "нанометр"
Динамическая мера "нанометр" – удобное средство измерений. Она позволяет осуществить калибровку СЗМ до начала и в процессе измерений. Предложены методика калибровки СЗМ и алгоритм статистической обработки данных.