Фотоника #1/2022
А. В. Якухина, В. В. Светухин, А. С. Кадочкин
Сравнение влияния технологических факторов на добротность мезаструктур оптических резонаторов, изготовленных по кремниевой технологии
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2022.16.1.10.20 Представлены результаты исследования влияния величины шероховатости поверхности световодного слоя на величину добротности мезаструктур оптических резонаторов, работающих в режиме мод шепчущей галереи (МШГ), изготовленных с использованием кремниевой технологии. В качестве материала световодного слоя исследованы два варианта: SiO2 и Si. Проведено исследование влияния величины шероховатости боковой поверхности световодного слоя на величину добротности для каждого варианта структуры. Величина шероховатости боковой поверхности световодного слоя исследовалась при помощи АСМ и РЭМ. Для мезаструктур оптических резонаторов со световодным слоем как из Si, так и из SiO2 в результате оптимизации базовых технологических процессов удалось достичь снижения величины шероховатости с 30–40 нм до 1–3 нм. Проведенная путем численного моделирования оценка показала, что добротность оптических резонаторов со световодным слоем из SiO2 может быть достигнута 109 за счет снижения шероховатости боковой поверхности световодного слоя.
Наноиндустрия #7-8/2020
А.В.Якухина, Д.В.Горелов, А.С.Кадочкин, С.С.Генералов, В.В.Амеличев, В.В.Светухин
Исследование влияния шероховатости боковых стенок световодного слоя из Si3N4 различной толщины на оптические потери в интегральном волноводе, сформированном на кварцевой подложке
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.7-8.450.457 В настоящей статье представлены результаты исследования влияния шероховатости боковых стенок световодного слоя из нитрида кремния толщиной 100 и 200 нм на оптические потери в интегральных волноводах шириной 3 и 8 мкм. Представлен расчет основных параметров шероховатости боковых стенок световодного слоя, оказывающих наибольшее влияние на оптические потери в волноводе, проведенный методом конечных временных разностей. На основании данного расчета была установлена оптимальная толщина световодного слоя из нитрида, позволяющая удерживать световой поток. За основу расчета при построении модели были взяты данные, полученные в ходе исследования РЭМ-снимков, изготовленных волноводных структур. Результаты приведенных расчетов согласуются с данными, полученными в результате исследования посредством рефлектометрии в частотной области рефлектометра обратного рассеяния изготовленных волноводов с толщиной световодного слоя из нитрида кремния 200 нм и шириной 3 и 8 мкм.
Фотоника #4/2011
Г.Буймистрюк, А.Рогов, Д.Агафонова.
Волоконно-оптические соединения повышенной плотности для многоканальных измерений
Малые размеры оптических волокон позволяют компактно уложить их в один оптический кабель, но использование одноволоконных соединителей порождает проблему масштабируемости. Новые оптические разъемы увеличивают плотность межсоединений. На приборостроительном заводе «Вибратор» разработана технология и освоено серийное производство 72-канальных предоконцованных шнуров и кабелей, в том числе для круглых кабелей на 72 волокна. В статье описаны методы, исключающие надломы и сломы волокон и наконечников.