Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "vacuum equipment"

Наноиндустрия #3-4/2022
Ю.В.Панфилов, Л.Л.Колесник
ПРИВНОСИМАЯ ДЕФЕКТНОСТЬ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ НАНОСТРУКТУР В ВАКУУМЕ

DOI: 10.22184/1993-8578.2022.15.3-4.224.231 Проанализированы основные источники привносимой дефектности изделий микро- и наноэлектроники в вакуумном технологическом оборудовании кластерного типа. Рассмотрены механизмы формирования потоков мелкодисперсных частиц в шлюзовых и технологических вакуумных камерах, молекулярных загрязнений и следов металлов в результате изнашивания конструкционных материалов и трибодесорбции.

Наноиндустрия #2/2016
К.Вавилин, Е.Кралькина, П.Неклюдова, А.Петров, А.Никонов, В.Павлов, А.Айрапетов, В.Одиноков, Г.Павлов, В.Сологуб
Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой

Представлены результаты разработки и оптимизации параметров экспериментальной установки для нанесения покрытий из различных материалов, выполненной на основе гибридной плазменной системы, которая состоит из магнетронного и вакуумно-дугового распылительных источников, а также ассистирующего геликонного источника. DOI:10.22184/1993-8578.2016.64.2.74.86

Наноиндустрия #2/2016
В.Башков, Ю.Миронов, Ю.Панфилов, А.Миронова, Н.Седых, Л.Колесник, С.Маринич, А.Селезнев
Установка для электронно-лучевой плавки, сварки и размерной обработки электровакуумного стекла

Рассмотрена конструкция установки для электронно-лучевой плавки, сварки и размерной обработки электровакуумного стекла. DOI:10.22184/1993-8578.2016.64.2.66.72

Наноиндустрия #8/2014
С.Нестеров
Вакуумные технологии для наноиндустрии

Вакуумная техника, криогенная техника и нанотехнология – три кита, на которых держится мир высоких технологий. Тематика докладов IX Международной конференции, которая прошла в 2014 году в Москве, полностью соответствовала этому девизу.

Наноиндустрия #7/2014
Новые разработки и комплексные услуги в области нанесения покрытий

На семинаре компаний Beneq и "ЭСТО-Вакуум" ученые, разработчики и эксперты обсудили свойства метода атомно-слоевого осаждения, возможности промышленного и исследовательского оборудования компании Beneq, проблему внедрения новых технологий в промышленность, а также преимущества автоматизированного вакуумного технологического оборудования компании "ЭСТО-Вакуум" для напыления, травления и осаждения различных материалов.

Наноиндустрия #6/2014
Д.Гудилин
Электроника, вакуумная техника и наноинженерия

В 2014 году исполнилось 75 лет первым в нашей стране разработкам оборудования для производства электровакуумных приборов, которые были выполнены студентами МГТУ им. Н.Э. Баумана. С тех времен и до сегодняшних дней выпускники одного из ведущих отечественных технических вузов неизменно играют важнейшую роль в развитии электроники, а также вакуумной техники.

Наноиндустрия #3/2013
И.Воробьев, С.Нестеров
"ВакуумТехЭкспо-2013"

С 16 по 18 апреля 2013 года в центре "Сокольники" прошла 8-я Международная выставка вакуумной техники, материалов и технологий. Организатор: компания MVK, соорганизатор – ФГУП "Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А.Векшинского". В качестве генерального спонсора выступила компания "Интек Аналитика".

Наноиндустрия #2/2013
М.Горчагов, В.Папко, С.Нестеров
ЗАО "ИНТЕК АНАЛИТИКА" и его партнеры на российском рынке вакуумного оборудования

ЗАО "Интек Аналитика" представляет вакуумное оборудование ведущих мировых производителей, используемое в нанотехнологиях и в аналитическом материаловедении.