Наноиндустрия #5/2012
В.Одиноков
НИИ точного машиностроения – оборудование для производства интегральных схем
Для производства интегральных схем (ИС) необходимы сотни операций на специальном технологическом оборудовании (СТО), без которого их разработка и массовое производство невозможны. К началу 1960-х годов в СССР возникла необходимость создания машиностроительного производства для электронной промышленности. В числе первых предприятий Научного центра микроэлектроники в Зеленограде 8 августа 1962 года Постановлением ЦК КПСС и СМ СССР № 831-358 был организован НИИ-350 с опытным заводом, впоследствии – Научно-исследовательский институт точного машиностроения с заводом "Элион". С 1993 года институт входит в Акционерную финансовую корпорацию "Система", а с 2002 года – в ОАО "Ситроникс" по направлению "Микроэлектронные решения".
Наноиндустрия #5/2011
Д.Красовицкий, А.Алексеев, С.Петров, В.Чалый
Стандартизованное производство гетероструктур III-N для твердотельной СВЧ-электроники
Приведены возможности широкозонных полупроводниковых нитридов III группы для мощных устройств СВЧ-диапазона и преодоления проблем при разработке технологии приборных нитридных гетероструктур. Создание специализированного ростового оборудования и новаторские конструкции гетероструктур и режимов роста позволили достичь мирового уровня, расширить перспективы их дальнейшего улучшения.