Наноиндустрия #5/2011
Д.Красовицкий, А.Алексеев, С.Петров, В.Чалый
Стандартизованное производство гетероструктур III-N для твердотельной СВЧ-электроники
Приведены возможности широкозонных полупроводниковых нитридов III группы для мощных устройств СВЧ-диапазона и преодоления проблем при разработке технологии приборных нитридных гетероструктур. Создание специализированного ростового оборудования и новаторские конструкции гетероструктур и режимов роста позволили достичь мирового уровня, расширить перспективы их дальнейшего улучшения.