Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "тестовый объект"

Наноиндустрия #5/2013
П.Тодуа, В.Гавриленко
Нанометрология – основа устойчивого развития нанотехнологий

Одна из ключевых задач нанометрологии – обеспечение единства измерений в нано - и субнанометровом диапазонах. Важнейшими параметрами, характеризующими наночастицы, наноструктуры, нанопокрытия являются размерные. В статье представлены новые типы кремниевых тест-объектов, обеспечивающих прослеживаемость методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии размерных измерений к единице длины в системе СИ.