Наноиндустрия #6/2023
Н.Е.Леденцова, Д.В.Бычков, И.П.Ли, А.В.Шуманов, В.И.Капустин
ИССЛЕДОВАНИЕ УСЛОВИЙ ФОРМИРОВАНИЯ НИТЕВИДНЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ КРИСТАЛЛОВ НА ПОВЕРХНОСТИ АВТОЭЛЕКТРОННЫХ КАТОДОВ МАГНЕТРОНОВ С БЕЗНАКАЛЬНЫМ ЗАПУСКОМ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.6.370.377 Запуск безнакальных магнетронов в режим генерации обусловлен током автоэлектронной эмиссии с вискеров, формирующихся на дисклокациях поверхности танталовых автокатодов в процессе активирования катодно-подогревательного узла (КПУ). При уровне тока автоэлектронной эмиссии, не достаточном для запуска магнетрона, катоды проходят дополнительную диодную тренировку, которая увеличивает временной цикл обработки лампы и включает в себя использование дополнительных производственных ресурсов. В представленной работе отражены результаты исследований влияния дефектов поверхности танталовых шайб, искусственно созданных посредством ионного и химического травления, на процессы роста нановискеров. Рассмотрена возможность использования вольфрамовых и ниобиевых шайб в качестве автокатодов для магнетронов с "холодным" катодом.
Наноиндустрия #5/2011
Н.Зайцев, Е.Горнев, С.Орлов, А.Красников, К.Свечкарев, Р.Яфаров
Наноалмазографитовые автоэмиттеры для интегральных автоэмиссионных элементов
Изучены наноструктурированные алмазографитовые автоэмиттеры для интегральных автоэмиссионных микроприборов. Обнаружена самоорганизация алмазных нанокристаллитов в графитовых и полимероподобных пленках при осаждении в неравновесной СВЧ -плазме паров этанола. Определены режимы раздельного осаждения углеродных структур заданной аллотропной модификации. Изготовлены интегральные автоэмиссионные микроприборы: диоды и триоды с наноалмазографитовыми эмиттерами. Наноалмазографитовые эмиттеры при 1×10-6 Торр и 300К обеспечивают плотность эмиссионного тока около 2 А/см2 и порог эмиссии до 1,5 В/мкм.