Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега - магнетронное осаждение тонкопленочные покрытия

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "магнетронное осаждение тонкопленочные покрытия"

Наноиндустрия #6/2013
С.Петров
Универсальные системы магнетронного распыления SemiTEq

Развитие нанотехнологий стимулирует интерес к созданию тонких пленок, используемых в микроэлектронике, нанофотонике, оптике и оптоэлектронике, космической и других отраслях для создания упрочняющих, светоотражающих, диэлектрических и проводящих покрытий. Наиболее востребованной технологией в этом направлении является магнетронное осаждение т+покрытий в вакууме. Основное его преимущество – высокая скорость нанесения и точность воспроизведения состава распыляемого материала.