Наноиндустрия #6/2013
А.Горобинский
Новое в нанопозиционировании. Шестикоординатная левитирующая платформа PIMag 6D
Для технологий точного приборостроения необходимы прецизионные системы позиционирования. Миниатюризация элементной базы, улучшение параметров оборудования требуют изменений в процессах производства, в частности, при позиционировании. При решении задач перемещения в микро- и нанометровом диапазонах лидирующие позиции занимают приводы на пьезоэффекте. Компания Physik Instrumente GmbH & Co. KG развивает новое направление в нанопозиционировании, в основе которой лежит эффект магнитной левитации