Тег "тонкопленочное покрытие"
Наноиндустрия #2/2016 К.Вавилин, Е.Кралькина, П.Неклюдова, А.Петров, А.Никонов, В.Павлов, А.Айрапетов, В.Одиноков, Г.Павлов, В.Сологуб Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой
Представлены результаты разработки и оптимизации параметров экспериментальной установки для нанесения покрытий из различных материалов, выполненной на основе гибридной плазменной системы, которая состоит из магнетронного и вакуумно-дугового распылительных источников, а также ассистирующего геликонного источника. DOI:10.22184/1993-8578.2016.64.2.74.86
Наноиндустрия #7/2015 А.Веселов Оборудование для синтеза сверхтонких пленок по технологии атомно-слоевого осаждения
Технология атомно-слоевого осаждения (АСО) была запатентована в 1974 году в Финляндии доктором Туомо Сунтола. В настоящее время множество компаний производят оборудование, реализующее принципы АСО, но технологическое лидерство принадлежит компании Picosun, в которой Т.Сунтола является членом совета директоров. 10.22184/1993-8578.2015.61.7.72.80
Наноиндустрия #6/2015 В.Шенбергер, П.Фрах, Х.Бартцш, Д.Глесс Прецизионные покрытия в промышленном масштабе: требования, технологии, оборудование
Лаборатория прецизионных покрытий Института органической электроники, электронно-лучевых и плазменных технологий общества Фраунгофера разрабатывает технологии нанесения покрытий методом магнетронного напыления и усиленного плазмой CVD для применения в оптике, сенсорике, электронике и других областях. DOI:10.22184/1993-8578.2015.60.6.70.74
Наноиндустрия #3/2015 С.Ильин, В.Лучинин Интеллектуальные стекла для информационной и электромагнитной безопасности
Современные тенденции разработки высокотехнологичных стекол на основе наноматериалов и с применением нанотехнологий определяют в качестве базовых направлений их эволюции создание систем архитектурной фотоники с элементами интеллекта, энергонезависимости и информационной безопасности. DOI:10.22184/1993-8578.2015.57.3.52.59
Аналитика #2/2014 В.Копачевский, А.Шабусов, С.Бриль ОЕМ-спектрофотометр ESCORT SM: высокоточный контроль и оптимизация нанесения тонкопленочных оптических покрытий
При нанесении современных тонкопленочных оптических покрытий с числом слоев до нескольких сотен необходим высокоточный контроль оптической толщины каждого из слоев. Важно также иметь инструмент управления процессом нанесения, чтобы получить соответствующую расчетным значениям толщину слоев. Авторы предлагают решить задачу контроля и управления процессом нанесения тонкопленочных оптических покрытий с помощью прецизионного ОЕМ-спектрофотометра ESCORT SM. ESCORT SM производит быстрые и прецизионные измерения спектров пропускания или спектров отражения наносимого покрытия, необходимые для контроля и оптимизации технологического процесса.
Наноиндустрия #7/2013 А.Усеинов, К.Кравчук, И.Маслеников Индентирование. Измерение твердости и трещиностойкости покрытий
Свойства алмазоподобных пленок углерода – эпитаксиальных слоев микро- и нанокристаллического алмаза, а также аморфных пленок углерода зависят от состава и структуры и могут изменяться в широких пределах. Алмазоподобные углеродные покрытия обладают рядом уникальных свойств: высокой твердостью и износостойкостью, низким коэффициентом трения, коррозионной стойкостью. Интерес к гетероструктурам алмазоподобных пленок углерода обусловлен перспективами использования их в качестве защитных и упрочняющих покрытий микро- и наноэлектромеханических систем. В статье рассматриваются способы определения механических характеристик тонкопленочных покрытий с применением индентирования и склерометрии. Выполнено сравнение адекватности различных моделей для оценки результатов измерений.
eng
