Наноиндустрия #7/2013
А.Усеинов, К.Кравчук, И.Маслеников
Индентирование. Измерение твердости и трещиностойкости покрытий
Свойства алмазоподобных пленок углерода – эпитаксиальных слоев микро- и нанокристаллического алмаза, а также аморфных пленок углерода зависят от состава и структуры и могут изменяться в широких пределах. Алмазоподобные углеродные покрытия обладают рядом уникальных свойств: высокой твердостью и износостойкостью, низким коэффициентом трения, коррозионной стойкостью. Интерес к гетероструктурам алмазоподобных пленок углерода обусловлен перспективами использования их в качестве защитных и упрочняющих покрытий микро- и наноэлектромеханических систем. В статье рассматриваются способы определения механических характеристик тонкопленочных покрытий с применением индентирования и склерометрии. Выполнено сравнение адекватности различных моделей для оценки результатов измерений.