Наноиндустрия #1/2014
М.Фадеев
Решения для высококачественного анализа микро- и наноструктур
Необходимым условием для качественного анализа микро- и наноструктур является правильная подготовка образцов. Проблема актуальна во многих высокотехнологичных областях: в полупроводниковом производстве, при изготовлении МЭМС и в научных исследованиях.