Тег "тонкопленочные технологии"
Наноиндустрия #3/2018 Л.Колесник, Мьо Чжо Хлаинг, Зау Пхо Аунг Повышение адгезии токопроводящих покрытий на керамических подложках оксида алюминия
В работе представлены результаты исследования возможности использования подслоя титана для повышения адгезии токопроводящих покрытий к подложкам оксида алюминия. Тонкопленочное медное покрытие осаждалось на подложке из алюмооксидной керамики методом термического испарения, а титановый адгезионный слой был получен методом магнетронного распыления. Установлено, что подслой титана может применяться в качестве адгезионного слоя под материалы, которые используются при пайке компонентов. УДК 621.793; ВАК 05.27.06; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.232.236
Наноиндустрия #8/2017 Д.Мустафаева, М.Мустафаев, Г.Мустафаев Формирование структур чувствительных элементов пленочных преобразователей с заданными электрофизическими параметрами
Рассмотрены условия формирования структур чувствительных элементов с заданными электрофизическими свойствами при создании пленочных преобразователей. Исследовано получение материалов с заданными свойствами и тонких пленок халькогенидов элементов первой группы с воспроизведением параметров соединений исходного материала на пленке. Технология создания пленочных преобразователей с заданными характеристиками совместима с другими процессами микроэлектроники и обеспечивает конструктивную и технологическую совместимость элементов преобразователей. УДК 681.586, ВАК 05.27.06, DOI: 10.22184/1993-8578.2017.79.8.60.66
Наноиндустрия #3/2017 П.Афанасьев, С.Ильин, В.Лучинин Инновационная энерготехносфера. Рекуперация энергии из окружающей среды
Представлен анализ современной энерготехно¬сферы – одного из ключевых наукоемких социально-ориентированных направлений создания комфортной, безопасной и экономически эффективной среды обитания. Рассмотрены тенденции и перспективы развития гибкой гибридной наноэнергетики, основанной на рекуперации энергии из окружающей среды и тела человека. УДК 621.311.25, ВАК 05.14.08, DOI: 10.22184/1993-8578.2017.73.3.38.44
Наноиндустрия #8/2016 А.Айрапетов, Е.Кралькина, П.Неклюдова, В.Одиноков, В.Павлов, Г.Павлов, В.Сологуб Установка с гибридным плазменным реактором
Рассмотрена конструкция установки для ионно-стимулированного формирования одно- и многокомпонентных металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев. DOI:10.22184/1993-8578.2016.70.8.104.108
Наноиндустрия #2/2014 Д.Георгиев Инновационные научно-технические центры как продукт современного инжиниринга
12–13 марта в Санкт-Петербурге состоялась III межрегиональная конференция "Промышленный инжиниринг и перспективы привлечения ведущих российских научно-технологических центров к развитию высокотехнологичных производств в регионах ". Одним из ключевых событий конференции стало открытие лаборатории литий-ионных технологий в Физико-техническом институте им. А.Ф.Иоффе РАН.
eng
