Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Статьи

Наноиндустрия #7-8/2024

Новости // все новости

09.04.2025

01.04.2025

События // все события

до 11.04.2025

Тег "литография"

Наноиндустрия #2/2020
И.В.Яминский, А.И.Ахметова, Г.Б.Мешков
Сканирующая зондовая микроскопия дихалькогенидов переходных металлов

DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.132.134 С помощью зондовой микроскопии проводились измерения перспективных материалов. Простота метода позволяет узнать морфологию и структуру поверхности, проводимость, исследовать свойства материала при нагреве.

Наноиндустрия #1/2020
И.В.Яминский, А.И.Ахметова, Г.Б.Мешков
Применение сканирующей зондовой и капиллярной микроскопии в международном сотрудничестве

DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.1.16.20 Научное сотрудничество групп зондовой микроскопии МГУ имени М.В.Ломоносова и Технологического университета имени Шарифа (Тегеран) в рамках российско-иранского проекта оказалось крайне плодотворным. За три года проекта получены оригинальные результаты по локальной модификации поверхности в тонких пленках благодаря использованию сканирующей капиллярной микроскопии. Разработана установка комбинированной зондовой и капиллярной микроскопии.

Электроника НТБ #5/2018
М. Макушин, В. Мартынов
EUV-литография на пороге. Технологические и зкономические аспекты освоения в производстве

Рассматриваются возможности и проблемы внедрения EUV-литографии (литография в предельной УФ-области спектра) в серийное производство ИС. УДК 621.37 | ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2018.176.5.108.116

Электроника НТБ #3/2017
М.Макушин, В.Мартынов
Микроэлектроника на современном этапе: тенденции развития и прогнозы по материалам международных форумов. Часть 2

Большое внимание на конференциях было уделено вопросам применения кремния на технологическом уровне менее 11/9 нм, использованию новых приборных структур (FinFET, FD-SOI) и приборов (STT-MRAM), EUV-литографии и перспективным материалам. DOI: 10.22184/1992-4178.2017.163.3.138.145 УДК 621.382 ВАК 05.27.00

Наноиндустрия #3/2012
А.Филонов, С.Савинов, О.Синицына, Г.Мешков, И.Яминский
ФемтоСкан Х – новый сканирующий зондовый микроскоп

Сканирующая зондовая микроскопия позволяет изучать структуру и свойства объектов на атомном и молекулярном уровнях. Инновационная компания Центр перспективных технологий разработала новый сканирующий зондовый микроскоп, ориентированный на биологические исследования. Отличительными качествами этого микроскопа являются высокоскоростная электроника, свободный доступ в область образца, удобство использования и возможность управления через Интернет.

Наноиндустрия #2/2011
В.Швец
Создание структур из оксида на поверхности графита

Развитие современной электроники требует постоянного уменьшения размеров создаваемых структур, одним из перспективных способов получения которых являются методы литографии с помощью атомно-силового микроскопа. Эти методы включают механическое индентирование поверхности, в том числе термомеханическое, манипуляцию отдельными молекулами, различные воздействия с помощью электрического поля: анодное окисление, испарение с поверхности, химическое осаждение вещества, изменение зарядов, создание микровзрывов и ударных волн [1]. Из них одним из первых был реализован метод локального анодного окисления (ЛАО), который в настоящее время изучается наиболее интенсивно.