Наноиндустрия #3/2014
Ш.Ву
Сканирующая микроволновая микроскопия: уникальный метод измерений в нанодиапазоне
Компания Agilent Technologies разработала новый измерительный метод – сканирующую микроволновую микроскопию (СММ), которая уже удостоена ряда престижных наград. СММ объединяет широкие возможности измерений электрических величин микроволновым векторным анализатором цепей (ВАЦ) с наноразмерным пространственным разрешением атомно-силового микроскопа (АСМ). Этот метод может эффективно применяться при проведении разнообразных исследовательских работ. Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, измерение