Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "чистые производственные помещения"

Наноиндустрия #9/2018
Быков Александр Викторович, Высоких Юрий Евгеньевич, Картавцев Владимир Сергеевич, Краснобородько Сергей Юрьевич
Требования к инженерной инфраструктуре создаваемых производств микро- и наноэлектронных компонентов

При проектировании современных производств микро- и наноэлектронных компонентов необходимо учитывать ряд требований, от которых зависит правильная работа инженерных систем и возможность создания производства. УДК 697.941/624.92.01 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.217.219

Электроника НТБ #4/2014
И.Баранник, Ю.Белогубов, Н.Иванов
Центр микросистемотехники Передовые инженерные решения

Рассматриваются принципы проектирования и строительства чистых производственных помещений российско-белорусского центра микросистемотехники (МСТ). За основу были взяты передовые отечественные и зарубежные решения в области построения инженерных систем обеспечения микроклимата и подготовки технологических сред.