Наноиндустрия #4/2015
О.Симонов
Атомно-слоевое осаждение – технология, меняющая мир
В статье изложены ключевые особенности технологии атомно-слоевого осаждения и некоторых ее практических применений. DOI:10.22184/1993-8578.2015.58.4.40.45
Наноиндустрия #7/2014
Новые разработки и комплексные услуги в области нанесения покрытий
На семинаре компаний Beneq и "ЭСТО-Вакуум" ученые, разработчики и эксперты обсудили свойства метода атомно-слоевого осаждения, возможности промышленного и исследовательского оборудования компании Beneq, проблему внедрения новых технологий в промышленность, а также преимущества автоматизированного вакуумного технологического оборудования компании "ЭСТО-Вакуум" для напыления, травления и осаждения различных материалов.