Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "vacuum"

Наноиндустрия #2/2022
Д.С.Шахов, В.П.Михайлов, А.М.Базиненков, М.Е.Жуков
ВАКУУМНЫЙ ДВУХКООРДИНАТНЫЙ МЕХАНИЗМ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С ЭЛЕКТРОРЕОЛОГИЧЕСКОЙ РЕГУЛИРОВКОЙ СКОРОСТИ

DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2022.15.2.144.148 Во многих областях современных нанотехнологий, осуществляемых в вакууме, требуется перемещение объектов с высокой точностью. В работе рассмотрен вакуумный двухкоординатный пневмогидравлический привод, способный осуществлять точные перемещения. Высокая точность механизма достигается за счет применения в качестве рабочей жидкости гидравлической части интеллектуального материала, электрореологической жидкости, способной мгновенно изменять свои реологические свойства под действием внешнего электрического поля. В работе экспериментально установлено, что наиболее эффективная регулировка скорости перемещения штока привода осуществляется на низких давлениях в пневмоцилиндре с концентрацией дисперсной фазы рабочей жидкости 25%.

Электроника НТБ #2/2022
А. Бойко, Д. Гаев, С. Тимошенков
КОРПУСИРОВАНИЕ МЭМС: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ

DOI: 10.22184/1992-4178.2022.213.2.88.92 Одним из наиболее сложных этапов производства микроэлектромеханических систем (МЭМС) является корпусирование, которое до сих пор остается «бутылочным горлышком» при решении задачи массового выпуска изделий. В настоящей работе внимание сфокусировано на проблеме вакуумной герметизации в технологии корпусирования МЭМС и способах ее решения.

Электроника НТБ #5/2016
А.Скупов
Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры

Рассмотрено применение геттеров для обеспечения требуемого уровня вакуума в микроэлектромеханических системах (МЭМС), микрооптоэлектромеханических системах (МОЭМС) и ряде других устройств. Отмечено, что геттеры позволяют решить проблему сохранения стабильного давления внутри герметично корпусированных устройств, а также могут быть полезны для удаления определенных компонентов атмосферы.

Наноиндустрия #3/2016
С.Сидорова, Л.Колесник
Моделирование процесса формирования островковых тонких пленок

Представлены теоретические основы и результаты моделирования процесса формирования островковых тонких пленок в вакууме. Рассмотрены возможные группы методов получения островковых тонких пленок. Показаны зависимости латеральных размеров островковых тонких пленок в вакууме от технологических параметров нанесения DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.64.70

Наноиндустрия #1/2011
В.Романько, С.Кравченко, С.Нестеров, В.Христич, П.Мальцев.
Применение вакуумной техники и технологии в космической отрасли

Традиционные направления исследований в космической отрасли – пилотируемая космонавтика, исследования Луны, Солнца, планет Солнечной системы и дальнего космоса с помощью космических аппаратов (КА) – составляют менее 15% от общего числа пусков КА, а расходы по ним не превышают 10% от бюджетов НАСА, Европейского космического агентства и Роскосмоса, причем доля указанных направлений в программах развития государственных космических ведомств неуклонно снижается. Либерализация мировой экономики обусловила пересмотр приоритетов в освоении космоса и программ развития соответствующих отраслей. Все большая роль в космической отрасли отводится коммерциализации – открытию космоса для частного бизнеса и получению доходов от освоения космического пространства.