Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "chemical vapor deposition"

Наноиндустрия #5/2020
Р.В.Клейманов, С.Е.Александров
Аэродинамический высокопроизводительный распылитель жидких реагентов на основе сопла Лаваля

DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.264.274 В статье предлагается высокопроизводительное устройство для подачи жидкого реагента в установку для химического осаждения высокочистого кварца в пламени. Подача жидкого кремнийсодержащего реагента осуществляется путем преобразования его в аэрозоль при помощи аэродинамического распылителя с плоским соплом Лаваля с внутренним телом. Разработанная конструкция позволяет достичь больших расходов жидкого реагента путем изменения сечений сопла для регулировки скорости газа-распылителя. Предложенная конструкция отличается более высокой технологичностью и простотой изменения расхода реагента в широких пределах, в отличие от распространенных коаксиальных конструкций сопел.

Наноиндустрия #4/2017
С.Конаков
Технология микрореакторного осаждения тонких пленок и наноструктур – новый подход к исследованию процесса химического осаждения из газовой фазы

В статье анализируется современное состояние развития метода химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ). Определена основная проблема технологии и анализируются ее фундаментальные причины. Показаны дефицит экспериментальной информации о результатах ХОГФ, а также несовершенство подходов к организации опытных исследований, что ведет к сложности оптимизации технологии получения тонких пленок с заданными физико-химическими параметрами. Для решения этой проблемы впервые предлагается использовать технологию микрореакторного ХОГФ. Сформулировано определение этого метода, описаны его основные свойства. УДК 621.793 ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.76.82

Наноиндустрия #5/2015
С.Ерин
Графен: настоящее формирует будущее

Графен (Cn) – материал, состоящий из одного слоя атомов углерода, который был открыт сравнительно недавно и пользуется повышенным интересом в научном мире. Он имеет шансы стать основным элементом для будущих электронных устройств так же, как 50 лет назад им стал кремний, а также весьма перспективен во многих других областях. Для получения графена может применяться хорошо известная технология химического осаждения из газовой фазы (CVD). DOI:10.22184/1993-8578.2015.59.5.44.46

Наноиндустрия #2/2015
С.Никифоров, А.Алексеев, И.Яминский, Д.Смагулова, Д.Бурлуцкий
Функциональные нанопокрытия: тенденции и перспективы

Функциональные нанопокрытия – направление нанотехнологий, в котором ведутся не только фундаментальные исследования, но и активно реализуются промышленные проекты. О перспективных направлениях разработок и достижениях в этой области рассказывают наши эксперты. DOI:10.22184/1993-8578.2015.56.2.18.25