Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "рентгеновские методы исследования"

Наноиндустрия #2/2015
Н.Герасименко, Д.Смирнов, А.Турьянский
Новые рентгеновские измерительные системы с микрофокусными источниками для диагностики твердотельных микро- и наноструктур

В статье обобщен опыт развития рентгеновских исследовательских систем на базе двухволновой схемы проведения измерений для анализа твердотельных микро- и наноструктур. Особое внимание уделено использованию рентгеновских систем для исследования многослойных тонкопленочных структур наноэлектроники, а также описанию перспектив использования нового поколения портативных микрофокусных рентгеновских источников с анодными алмазными подложками. DOI:10.22184/1993-8578.2015.56.2.58.69