Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега - кластерные технологические комплексы

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "кластерные технологические комплексы"

Наноиндустрия #6/2010
В.Быков
Кластерное технологическое оборудование для создания элементной базы наноэлектроники

Идея кластерных комплексов в микроэлектронике берет начало от так называемой «Бочки Лабунова», предложенной В.А.Лабуновым в 1983 году для производства сверхбольших интегральных схем. Именно эта идеология заложена в конструкцию технологической линии «сухой» фотолитографии «ОСНОВА-2Л», представляющей собой связанный в единую систему вакуумный литографический комплекс из восьми модулей.