Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "ионно-лучевой тримминг"

Наноиндустрия #3/2015
М.Зейнер, К.Гюндель, Т.Дунгер, М.Деммлер, М.Нестлер
Ионно-лучевой тримминг в производстве устройств на акустических волнах

Качество фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) и объемных акустических волнах (ОАВ) зависит от геометрии слоев, причем погрешности должны лежать в субнанометровом диапазоне. В статье описывается технология, отвечающая указанным требованиям. Для корректировки размеров слоев используется фокусированный ионный луч и система перемещения обрабатываемой пластины. DOI:10.22184/1993-8578.2015.57.3.34.39