Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "nano- and submicron electronics"

Наноиндустрия #6/2010
В.Одиноков, Г.Павлов, Э.Руденко,В.Семенюк, В.Сологуб, К.Шамрай
Вакуумно-технологическое оборудование с магнитоактивированными ионно-плазменными реакторами

В ОАО “НИИ точного машиностроения” (Москва)1 разработан комплекс многофункционального вакуумно-технологического оборудования для прецизионного формирования наноструктур в технологии приборов нано- и субмикронной микроэлектроники и микромеханики. Оборудование оснащено перспективными ионно-плазменными реакторами, разработанными в Институте металлофизики НАН Украины (Киев)2 и в Институте ядерных исследований НАН Украины (Киев)3.