sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)
Книги по нанотехнологиям
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Под редакцией д.т.н., профессора Мальцева П.П.
Под ред. Л.И. Трахтенберга, М.Я. Мельникова
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Тег "вакуумно-технологического оборудования"
Наноиндустрия #6/2010
В.Одиноков, Г.Павлов, Э.Руденко,В.Семенюк, В.Сологуб, К.Шамрай
Вакуумно-технологическое оборудование с магнитоактивированными ионно-плазменными реакторами
В ОАО “НИИ точного машиностроения” (Москва)1 разработан комплекс многофункционального вакуумно-технологического оборудования для прецизионного формирования наноструктур в технологии приборов нано- и субмикронной микроэлектроники и микромеханики. Оборудование оснащено перспективными ионно-плазменными реакторами, разработанными в Институте металлофизики НАН Украины (Киев)2 и в Институте ядерных исследований НАН Украины (Киев)3.
Разработка: студия Green Art