Наноиндустрия #7/2013
А.Усеинов, К.Кравчук, И.Маслеников
Индентирование. Измерение твердости и трещиностойкости покрытий
Свойства алмазоподобных пленок углерода – эпитаксиальных слоев микро- и нанокристаллического алмаза, а также аморфных пленок углерода зависят от состава и структуры и могут изменяться в широких пределах. Алмазоподобные углеродные покрытия обладают рядом уникальных свойств: высокой твердостью и износостойкостью, низким коэффициентом трения, коррозионной стойкостью. Интерес к гетероструктурам алмазоподобных пленок углерода обусловлен перспективами использования их в качестве защитных и упрочняющих покрытий микро- и наноэлектромеханических систем. В статье рассматриваются способы определения механических характеристик тонкопленочных покрытий с применением индентирования и склерометрии. Выполнено сравнение адекватности различных моделей для оценки результатов измерений.
Наноиндустрия #6/2010
А.Усеинов, С.Усеинов
Измерение механических свойств методом царапания
Одним из способов оценки механических свойств материалов является царапание (метод склерометрии). С середины 80‑х годов прошлого века развитие и применение этого метода практически прекратилось. Это в значительной степени связано с появлением и распространением метода измерительного индентирования [1, 2]. Однако при наномасштабных измерениях метод царапания имеет ряд преимуществ и составляет достойную конкуренцию индентированию.