Наноиндустрия #5/2015
В.Вернер, Е.Кузнецов, А.Сауров
Закону Мура 50 лет: развитие микронаноэлектроники
Рассматривается влияние закона Мура на развитие микро- и наноэлектроники и его воздействие на изменения в структуре отрасли. Отмечается, что закон Мура определил высокие темпы роста микроэлектроники, что в свою очередь способствовало появлению и развитию новых направлений, например, микросистемной техники в форме МЭМС, а затем и наноэлектроники. DOI:10.22184/1993-8578.2015.59.5.56.72