Наноиндустрия #6/2015
В.Шенбергер, П.Фрах, Х.Бартцш, Д.Глесс
Прецизионные покрытия в промышленном масштабе: требования, технологии, оборудование
Лаборатория прецизионных покрытий Института органической электроники, электронно-лучевых и плазменных технологий общества Фраунгофера разрабатывает технологии нанесения покрытий методом магнетронного напыления и усиленного плазмой CVD для применения в оптике, сенсорике, электронике и других областях. DOI:10.22184/1993-8578.2015.60.6.70.74