Фотоника #7/2021
М. В. Рашковец, Н. Г. Кислов, А. А. Никулина, О. Г. Климова-Корсмик
Влияние термической обработки на структурно-фазовое состояние и ударную вязкость никелевого сплава Inconel 718 при аддитивном производстве
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2021.15.7.568.575 Проведен анализ фазового состава жаропрочного никелевого сплава Inconel 718, сформированного аддитивной технологией прямого лазерного выращивания с применением волоконного лазера ЛС‑3. Методами структурных исследований установлено, что основной упрочняющей фазой сплава после термической обработки является γ’-фаза. Выделение δ-фазы происходит в области частиц фазы Лавеса. Усталостные испытания показывают повышение ударной вязкости в 1,5 раза при смене направления выращивания с продольной ориентации на поперечную относительно динамического воздействия на материал в исходном и термически обработанном состоянии. Распространение трещины в исходном состоянии сопровождается разрушением частиц фазы Лавеса и обходом в термически обработанном материале.
Наноиндустрия #3/2011
А.Алексеев, К.Крупальник, Н.Корнилов
Быстрый нагрев и охлаждение образцов в управляемой газовой среде
Термическая обработка полупроводниковых пластин – важный этап многих технологических маршрутов при формировании приборов микроэлектроники, предъявляющий повышенные требования к лабораторному и промышленному оборудованию. Важнейшие характеристики такого процесса: скорость и однородность нагрева/охлаждения образцов, максимальная температура, время обработки, управляемые параметры газовой среды. Для реализации подобного процесса необходимо универсальное оборудование, обеспечивающее высокие значения его важнейших технологических параметров.