Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "наногетероструктуры"

Наноиндустрия #3/2011
А.Алексеев, К.Крупальник, Н.Корнилов
Быстрый нагрев и охлаждение образцов в управляемой газовой среде

Термическая обработка полупроводниковых пластин – важный этап многих технологических маршрутов при формировании приборов микроэлектроники, предъявляющий повышенные требования к лабораторному и промышленному оборудованию. Важнейшие характеристики такого процесса: скорость и однородность нагрева/охлаждения образцов, максимальная температура, время обработки, управляемые параметры газовой среды. Для реализации подобного процесса необходимо универсальное оборудование, обеспечивающее высокие значения его важнейших технологических параметров.