Наноиндустрия #8/2015
Д.Гудилин
Высокотехнологичные решения для чистых сред
Современные технологические процессы в полупроводниковой, фармацевтической, химической промышленности, фотовольтаике, автомобилестроении, приборостроении и других отраслях требуют применения высокочистых технических газов и жидкостей. Кислород, азот, аргон, и другие газы необходимы также лабораториям и институтам для проведения исследований, в том числе, на наноуровне. Для подачи газов и жидких химических веществ к технологическому оборудованию создаются специальные технические системы, которые должны отвечать требованиям чистоты в соответствии с классом помещения и безопасности. Ведущим европейским разработчиком и поставщиком таких систем является немецкая компания INTEGA. DOI:10.22184/1993-8578.2015.62.8.6.10