Наноиндустрия #6/2023
А.Х.Абдуев, А.Ш.Асваров, А.К.Ахмедов, Э.К.Мурлиев
АНАЛИЗ МЕТОДОВ СИНТЕЗА АМОРФНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZnO ДЛЯ УСТРОЙСТВ ПРОЗРАЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.6.362.368 Проанализированы процессы магнетронного синтеза нанокристаллических и аморфных слоев на основе оксида цинка. Изучено влияние легирующих компонентов и уровня легирования на степень аморфизации слоев. Рассмотрено влияние водорода в составе атмосферы на структурное совершенство синтезируемых слоев. Показана зависимость структуры слоев ZnO–SnO2 от соотношения компонентов в распыляемых мишенях. Обсуждены механизмы формирования аморфных слоев на основе ZnO при магнетронных методах синтеза.
Электроника НТБ #2/2016
Модернизация вакуумного технологического оборудования ЗАО "НТО" для разработки и производства ЭКБ
Компания ЗАО "НТО" – одна из лидеров отечественного рынка производителей специального технологического оборудования для создания перспективной ЭКБ. Разрабатывает и производит широкий спектр современных вакуумных систем для молекулярно-лучевой эпитаксии и формирования тонкопленочных структур на пластине.