Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "thin film technology"

Наноиндустрия #3/2017
П.Афанасьев, С.Ильин, В.Лучинин
Инновационная энерготехносфера. Рекуперация энергии из окружающей среды

Представлен анализ современной энерготехно¬сферы – одного из ключевых наукоемких социально-ориентированных направлений создания комфортной, безопасной и экономически эффективной среды обитания. Рассмотрены тенденции и перспективы развития гибкой гибридной наноэнергетики, основанной на рекуперации энергии из окружающей среды и тела человека. УДК 621.311.25, ВАК 05.14.08, DOI: 10.22184/1993-8578.2017.73.3.38.44

Наноиндустрия #2/2017
Р.Каракулов, В.Одиноков, В.Панин, А.Шубников, Д.Владимиров, С.Владимиров, А.Голубцов
Установка магнетронного распыления "Магна ТМ 7" в технологии создания тонкопленочных ГИС СВЧ

Представлена новая разработка ОАО "НИИ точного машиностроения" – вакуумная установка "Магна ТМ 7". Рассмотрены ее устройство и принцип работы. На установке получены тонкие резистивные пленки на прямоугольных поликоровых пластинах ВК-100-1 магнетронным распылением дисковых мишеней диаметром 100 мм из материалов РС3710 и РС5406. Четырехзондовым методом установлено, что значения удельного поверхностного сопротивления полученных пленочных резисторов могут достигать 100 Ом/кв. УДК 621.3.049.76.002.5, ВАК 05.04.06, DOI: 10.22184/1993-8578.2017.72.2.80.86

Наноиндустрия #8/2016
А.Айрапетов, Е.Кралькина, П.Неклюдова, В.Одиноков, В.Павлов, Г.Павлов, В.Сологуб
Установка с гибридным плазменным реактором

Рассмотрена конструкция установки для ионно-стимулированного формирования одно- и многокомпонентных металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев. DOI:10.22184/1993-8578.2016.70.8.104.108

Наноиндустрия #3/2016
С.Сидорова, Л.Колесник
Моделирование процесса формирования островковых тонких пленок

Представлены теоретические основы и результаты моделирования процесса формирования островковых тонких пленок в вакууме. Рассмотрены возможные группы методов получения островковых тонких пленок. Показаны зависимости латеральных размеров островковых тонких пленок в вакууме от технологических параметров нанесения DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.64.70