Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "islet thin films"

Наноиндустрия #5/2016
Л.Колесник, С.Сидорова
Реализация удаленного доступа к технологическому комплексу формирования островковых тонких пленок

Разработана оригинальная методика обеспечения удаленного доступа к технологическому оборудованию. Предложенные методы позволяют контролировать технологические процессы, управлять оборудованием с использованием сетевых технологий и обеспечить при необходимости работу установки без участия оператора. DOI:10.22184/1993-8578.2016.67.5.74.84

Наноиндустрия #3/2016
С.Сидорова, Л.Колесник
Моделирование процесса формирования островковых тонких пленок

Представлены теоретические основы и результаты моделирования процесса формирования островковых тонких пленок в вакууме. Рассмотрены возможные группы методов получения островковых тонких пленок. Показаны зависимости латеральных размеров островковых тонких пленок в вакууме от технологических параметров нанесения DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.64.70