Наноиндустрия #3/2011
Л.Раткин
Перспективы развития МЭМС-технологий
19 апреля 2011 года Русская ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем (Русская Ассоциация МЭМС) провела в Москве Международный форум, на котором обсуждались современные технологии производства и перспективы развития МЭМС-устройств. Более двух десятков ведущих организаций представили результаты научных исследований по приоритетным направлениям отрасли.
Электроника НТБ #1/2011
А.Тузов
Датчики для измерения параметров движения на основе MEMС-технологии ЧАСТЬ 1. Инерциальные датчики средней точности
Активно развивающиеся технологии микроэлектромеханических систем (MЭМС) сделали доступными для применения в недорогих массовых устройствах датчики и системы измерения параметров, которые ранее использовались лишь в дорогой авиационной, космической и военной технике. Особенно это относится к датчикам для измерения параметров движения – инерциальным датчикам (гироскопам, акселерометрам), датчикам вибрации, давления, наклона и т.д. Рассмотрим датчики и инерциальные измерительные модули, уже доступные российским разработчикам. Причем основное внимание уделим моделям с высокими точностными характеристиками и хорошей стабильностью показаний.