Наноиндустрия #3/2011
Л.Раткин
Перспективы развития МЭМС-технологий
19 апреля 2011 года Русская ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем (Русская Ассоциация МЭМС) провела в Москве Международный форум, на котором обсуждались современные технологии производства и перспективы развития МЭМС-устройств. Более двух десятков ведущих организаций представили результаты научных исследований по приоритетным направлениям отрасли.
Наноиндустрия #2/2011
Р.Кондратюк.
LTCC - низкотемпературная совместно обжигаемая керамика
На протяжении ряда лет в различных отраслях промышленности используется технология низкотемпературной совместно обжигаемой керамики (LTCC). Усовершенствование таких материалов, технологических процессов и методов их производства привело к снижению стоимости и улучшению характеристик электронных изделий, что обеспечило рост интереса к этой технологии со стороны производителей высокочастотной техники, оптоэлектроники и микроэлектромеханических систем (МЭМС). В результате ее широкого использования открываются новые возможности для производства электронных изделий в таких направлениях как телекоммуникации, медицина, автомобильная, военная и космическая техника.