Наноиндустрия #5/2016
А.Кондрашин, А.Лямин, В.Слепцов
4D-технологии производства интегральных трех-мерных электронных устройств
В третьей части публикации представлен анализ состояния и перспектив развития 3D-MID-технологий. DOI:10.22184/1993-8578.2016.67.5.58.72