Наноиндустрия #5/2016
А.Айрапетов, С.Васильев, Т.Кулова, М.Лебедев, А.Метлицкая, А.Мироненко, Н.Никольская, В.Одиноков, Г.Павлов, Д.Пухов, А.Рудый, А.Скундин, В.Сологуб, И.Федоров, А.Чурилов
Тонкопленочный отрицательный электрод состава Si–O–Al–Zn для литий-ионных аккумуляторов
Приведены результаты экспериментов по отработке технологии изготовления тонкопленочных отрицательных электродов для литий-ионных аккумуляторов на основе композита Si–O–Al–Zn. Описаны режимы напыления и возможности управления структурой и фазовым составом пленок, методы диагностики структуры и фазового состава, а также результаты электрохимических испытаний отрицательных электродов. DOI:10.22184/1993-8578.2016.67.5.94.106