Наноиндустрия #3/2011
Л.Раткин
Перспективы развития МЭМС-технологий
19 апреля 2011 года Русская ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем (Русская Ассоциация МЭМС) провела в Москве Международный форум, на котором обсуждались современные технологии производства и перспективы развития МЭМС-устройств. Более двух десятков ведущих организаций представили результаты научных исследований по приоритетным направлениям отрасли.