Наноиндустрия #6/2016
А.Потемкин
Обеспечение метрологической ответственности измерения перемещения в нанометровом диапазоне
Измерительный метрологический набор на основе динамической меры – технологически сложный и наукоемкий продукт, многократно превосходящий решения на основе пьезокерамики. Динамические калибры позволяют обеспечить опережающее развитие метрологии по сравнению с разрабатываемыми нанотехнологиями. DOI:10.22184/1993-8578.2016.68.6.60.68