Наноиндустрия #7/2016
Л.Колесник, С.Маринич, А.Селезнев
Технология кластерного осаждения меди с ассистированием струей инертного газа
Методом пароструйного осаждения с использованием специально разработанного источника материала получены медные покрытия, имеющие кластерную структуру. DOI:10.22184/1993-8578.2016.69.7.86.93