Электроника НТБ #9/2014
В.Быков, К.Борисов, Ал.Быков, Ан.Быков, В.Котов, В.Поляков, В.Шиллер
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ КОМПЛЕКСЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИСТЕМ БЕСШАБЛОННОЙ ЛИТОГРАФИИ
В статье изложен подход к созданию кластерных комплексов замкнутого цикла для разработки и мелкосерийного производства БИС- и СБИС-базы микро- и наноэлектроники с помощью систем бесшаблонной высокопроизводительной многолучевой электронной литографии и технологических комплексов сухой финишной очистки и планаризации с использованием ускоренных больших Ван-дер-Ваальсовых кластеров. "Гибкость" и адаптивность технологической линии под заданный тип технологического процесса обусловлены модульной конструкцией линии, объединенной единой сверхвысоковакуумной транспортной системой. Кроме технологических кластеров, технологическая линия может содержать метрологические и аналитические модули, модули коррекции топологии, обеспечивая разработки и малосерийное производство элементной базы наноэлектроники технологического уровня 22–14 нм.
Аналитика #3/2015
В.Гелевер, Е.Усачев, А.Манушкин
Гибридный наноскоп – универсальный прибор для лабораторий разного профиля
Развитие, применение и распространение нанотехнологий приводит к росту числа наноструктурированных объектов, которые необходимо исследовать с применением микроскопических, спектроскопических, дифрактометрических и других методов. Для изучения структуры и состава вещества используются различные виды электронных, зондовых и оптических микроскопов. В МГТУ МИРЭА разработан гибридный прибор – наноскоп, предназначенный для комплексных исследований небольших наноструктурных объектов.
Наноиндустрия #1/2015
В.Гелевер, Е.Усачев, А.Манушкин
Нанодиагностический учебно-научный класс на базе гибридных наноскопов
В МГТУ МИРЭА разработан гибридный прибор – наноскоп, предназначенный для исследований небольших наноструктурных объектов с использованием различных методов микроскопии и спектроскопии. DOI:10.22184/1993-8578.2015.55.1.60.63
Наноиндустрия #7/2014
Г.Мешков, О.Синицына, Д.Яминский, И.Яминский
Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии": конкурсы объявлены!
Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии" приглашает школьников, студентов и молодых специалистов инновационных компаний к участию в конкурсах.
Наноиндустрия #6/2014
Д.Соколов
Патентование принципиально новых технологий
Нередко возникает ситуация, когда технология разработана, приносит результаты, но пока не признана научным сообществом. В статье рассматриваются некоторые подходы к защите таких принципиально новых технологий.
Наноиндустрия #6/2014
И.Яминский
ЦМИТ "Нанотехнологии": первые шаги
В сентябре стартовал новый проект МГУ им. М.В.Ломоносова и компании "Центр перспективных технологий" – Центр молодежного инновационного творчества (ЦМИТ) "Нанотехнологии" , созданный при поддержке Департамента науки, промышленной политики и предпринимательства Правительства Москвы и Центра инновационного развития Москвы. За несколько месяцев, прошедших с момента предыдущей публикации о предыстории создания ЦМИТ, коллектив центра перешел от разработки планов и концепций к их реализации.
Наноиндустрия #8/2013
Д.Соколов
У истоков нанотехнологии
Нанотехнология началась с создания сканирующего зондового микроскопа, история появления которого уже публиковалась в журнале. В статье прослеживается развитие технологии, на которую опирается сканирующая зондовая микроскопия, рассматриваются примеры ее патентования.
Наноиндустрия #8/2013
И.Яминский, П.Горелкин, А.Ерофеев,О.Синицына, Г.Мешков
Бионаноскопия в биологии и медицине
Инструменты наноаналитики открывают новые возможности в наблюдении живой природы на уровне молекул. Сверхвысокое разрешение и возможности измерений на воздухе и в жидких средах обуславливают широкие перспективы применения зондовой микроскопии в медицине. В обзоре обсуждается современное контрольно-измерительное оборудование, рассматриваются подложки для работы с биообъектами, обобщаются данные по наблюдению нуклеиновых кислот, белков, бактерий, клеток и тканей животных.
Наноиндустрия #3/2013
А.Гаскаров, И.Яминский
Микроскопия в клинической диагностике. Обнаружение частиц нанометрового размера
Наиболее известны в научной сфере методы наблюдения наночастиц – электронная и сканирующая зондовая микроскопия. Достоинства электронной микроскопии – прямое представление изображения, высокая скорость сканирования, совмещение с различными приставками. Однако она требует работы только с образцами на подложке и в вакууме. Также, в случае непроводящих образцов, необходимо учитывать влияние пространственного заряда.
Наноиндустрия #6/2012
А.Протопопова, А.Большакова, Д.Багров
Первый всероссийский конкурс "Детектив в лаборатории"
Со 2 апреля 2012 года в течение трех недель школьники со всей России принимали участие в первой всероссийской онлайн-игре "Детектив в лаборатории". Конкурс был организован ЗАО "Центр перспективных технологий" совместно со Школьной лигой РОСНАНО и МГУ имени М.В.Ломоносова. Целью конкурса было показать старшеклассникам, что наукой заниматься интересно и совсем нескучно.