Электроника НТБ #9/2014
В.Быков, К.Борисов, Ал.Быков, Ан.Быков, В.Котов, В.Поляков, В.Шиллер
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ КОМПЛЕКСЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИСТЕМ БЕСШАБЛОННОЙ ЛИТОГРАФИИ
В статье изложен подход к созданию кластерных комплексов замкнутого цикла для разработки и мелкосерийного производства БИС- и СБИС-базы микро- и наноэлектроники с помощью систем бесшаблонной высокопроизводительной многолучевой электронной литографии и технологических комплексов сухой финишной очистки и планаризации с использованием ускоренных больших Ван-дер-Ваальсовых кластеров. "Гибкость" и адаптивность технологической линии под заданный тип технологического процесса обусловлены модульной конструкцией линии, объединенной единой сверхвысоковакуумной транспортной системой. Кроме технологических кластеров, технологическая линия может содержать метрологические и аналитические модули, модули коррекции топологии, обеспечивая разработки и малосерийное производство элементной базы наноэлектроники технологического уровня 22–14 нм.
Наноиндустрия #7/2014
Г.Мешков, О.Синицына, Д.Яминский, И.Яминский
Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии": конкурсы объявлены!
Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии" приглашает школьников, студентов и молодых специалистов инновационных компаний к участию в конкурсах.
Наноиндустрия #6/2014
Д.Соколов
Патентование принципиально новых технологий
Нередко возникает ситуация, когда технология разработана, приносит результаты, но пока не признана научным сообществом. В статье рассматриваются некоторые подходы к защите таких принципиально новых технологий.
Наноиндустрия #6/2014
И.Яминский
ЦМИТ "Нанотехнологии": первые шаги
В сентябре стартовал новый проект МГУ им. М.В.Ломоносова и компании "Центр перспективных технологий" – Центр молодежного инновационного творчества (ЦМИТ) "Нанотехнологии" , созданный при поддержке Департамента науки, промышленной политики и предпринимательства Правительства Москвы и Центра инновационного развития Москвы. За несколько месяцев, прошедших с момента предыдущей публикации о предыстории создания ЦМИТ, коллектив центра перешел от разработки планов и концепций к их реализации.
Наноиндустрия #8/2013
Д.Соколов
У истоков нанотехнологии
Нанотехнология началась с создания сканирующего зондового микроскопа, история появления которого уже публиковалась в журнале. В статье прослеживается развитие технологии, на которую опирается сканирующая зондовая микроскопия, рассматриваются примеры ее патентования.
Наноиндустрия #8/2013
И.Яминский, П.Горелкин, А.Ерофеев,О.Синицына, Г.Мешков
Бионаноскопия в биологии и медицине
Инструменты наноаналитики открывают новые возможности в наблюдении живой природы на уровне молекул. Сверхвысокое разрешение и возможности измерений на воздухе и в жидких средах обуславливают широкие перспективы применения зондовой микроскопии в медицине. В обзоре обсуждается современное контрольно-измерительное оборудование, рассматриваются подложки для работы с биообъектами, обобщаются данные по наблюдению нуклеиновых кислот, белков, бактерий, клеток и тканей животных.
Наноиндустрия #5/2013
О.Синицына, Г.Мешков, И.Яминский
Определение формы острия зонда в атомно-силовой микроскопии
При определении параметров острия зонда сканирующего атомно-силового микроскопа (АСМ) с использованием нанообъектов с известными размерами возникают принципиальные методические проблемы. Заключаются они в сложности нахождения образцов с заранее известными размерами. В статье обсуждается спектр связанных с этими проблемами вопросов.
Наноиндустрия #3/2013
А.Гаскаров, И.Яминский
Микроскопия в клинической диагностике. Обнаружение частиц нанометрового размера
Наиболее известны в научной сфере методы наблюдения наночастиц – электронная и сканирующая зондовая микроскопия. Достоинства электронной микроскопии – прямое представление изображения, высокая скорость сканирования, совмещение с различными приставками. Однако она требует работы только с образцами на подложке и в вакууме. Также, в случае непроводящих образцов, необходимо учитывать влияние пространственного заряда.
Наноиндустрия #1/2013
С.Савинов, И.Яминский
От Скана до ФемтоСкана: итоги 25 лет
Появление сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) совпало с началом эпохи персональных компьютеров. История СЗМ – эра развития высоких технологий, во многом связанных с научно-технической революцией в компьютерных и информационных технологиях. Обсуждается создание СЗМ Скан и его последующих новых модификаций.
Наноиндустрия #8/2012
А.Гневко, А.Мальцев, С.Пушко
Характеристика профилей скрайбирования при СЗМ-исследовании поверхностей сталей и сплавов
Состояние конструкционных материалов может быть определено локальными методами, в частности, при использовании СЗМ, которые проводятся в заводских условиях на работающем оборудовании. Разработки компании НТИ дополнили стандартную методику скрайбирования поверхности ее СЗМ-исследованиями.